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氮气

时间:2012-05-08
来源:本站编辑

性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性竞技宝app网页。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。竞技宝app网页密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用竞技宝app网页。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。